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Nanosystem NVF-2700 非接觸式3D輪廓儀

簡要描述:Nanosystem NVF-2700 非接觸式3D輪廓儀,通過非接觸式的方法對0.1nm-270nm的3維表面形貌進行高進度和高速測量。利用物鏡轉臺可方便的進行放大倍數的轉換。使用拼接功能可分析寬廣的表面。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2020-11-10
  • 訪  問  量:1620

詳細介紹

品牌其他品牌價格區間100萬-200萬
產品種類非接觸式輪廓儀/粗糙度儀產地類別進口
應用領域電子,航天,汽車,電氣

Nanosystem NVF-2700 非接觸式3D輪廓儀通過的技術力對多樣研究所有的表面提供優化解決方案。所有的功能實現全自動快速運轉。

NVF-2700可以快測量所有表面的測量儀,利用持有的白光干涉儀WSI和相應算法開發的產品。X,Y,Z軸全部設計為全自動,通過可調節F.O.V鏡頭,自動構成多樣的倍率。此產品專為研究所,大學和工藝管理而制作的產品。此設備可以通過拼接(Stitching)功能可以進行大面積(500?)測量。

得到的WSI/PSI技術,只需要表面有1%的反射率即可測量,表面現象中的高度,寬度,幅度,粗糙度(Ra, Rq, Rz, Rt, etc)等各種項目均可測量。


此外,WSI的高度分辨率為0.1nm,2秒鐘時間即可掃描所有的表面,在不破壞樣品的情況下,可測定0.1nm到1000um的樣品,均可觀察2D/3D的現象。不僅如此,更是保障了0.1%(1σ)世界水準的重復性,本公司保有的技術可應用于 PCB, display, engineering part, chemical material, optical parts, bio, R&D等方面。

 

Nanosystem NVF-2700 非接觸式3D輪廓儀的優點

·       優良的測量精度

·       抗振動設計

·       快速測量速度

·       友好的測量界面

·       Stitching功能

·       2D3D多功能性能

 

主要功能

·       3D 形貌測量

·       粗糙度 (ISO 25178) 和平整度 (選項)

·       高度,深度,寬度(從亞納米到10mm)·

·       面積信息(體積,面積)

·       2D3D 測量

特點

Fast ,Reliable, Fine = Reducing R & D Time

納米級的幾何光學測量

粗糙度,段差,細微形貌,薄膜表面

Full range scan只需要兩秒! 掃描速度Max. 116μm/S

兩步A/F簡單準備的全自動聚焦

ISO Roughness參數(ISO25178/12781/4287等)

可一次性分析透明薄膜厚度及內部形貌(選購)

產品規格:

測量方法:白光掃描干涉法/相移干涉法

FOV鏡頭:4位電動轉塔,可加裝F.O.V(選項)

干涉物鏡:5物鏡可選(程控)

光源:白光LED照明

掃描范圍:≤270um(PZT)

掃描速度:12μm/sec (1x~5x用戶可選)

垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm ,PSI :﹤0.1nm

橫向分辨率:0.2-4μm(取決于物鏡和FOV)

臺階高度重復性:0.1%@1σ (標準8um臺階樣品)

傾斜度:±6°

XY行程:100mmX100mm

工作臺尺寸: 230X230mm(程控)

選項

FOV鏡頭: 0.5X,0.75X,1X,1.5X,2X(可選)

干涉物鏡:2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x (可選)

掃描范圍:多達可達10mm(電機掃描選項)

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